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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：外文期刊     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Effect of radio frequency power on the inductively coupled plasma etched Al0.65Ga0.35N surface 外文期刊 2010 作者:  Liu, XY;  Bai, Y;  Liu, J;  Ma, P;  Li, B 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/11/26 N-type Gan  Electronic-properties  Oxide  Damage  Ingan  Algan   Gate oxide punching thru mechanism in plasma dry etching 外文期刊 2008 作者:  Zhang, QZ;  Xie, CQ;  Liu, M;  Li, B;  Chen, BQ 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/11/26 Photoresist etching by atmospheric pressure uniform-glow plasma 外文期刊 2007 作者:  Wang, SG;  Xu, XY;  Zhao, LL;  Ye, TC 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/11/26 Discharge   Study on an atmospheric pressure plasma jet and its application in etching photo-resistant materials 外文期刊 2004 作者:  Li, HJ;  Wang, SG;  Zhao, LL;  Ye, TC 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/11/26 Silicon Dioxide Films  Deposition