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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Switchable wetting & flexible SiC thin film with nanostructures 其他 2013-01-01 Zhang, X.S.; Meng, B.; Zhu, F.Y.; Tang, W.; Zhang, H.X. 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 High temperature annealing amorphous hydrogenated SiC films for the application as window layers in Si-based solar cell 其他 2013-01-01 Hong, Rong Dun; Chen, Xia Ping; Huang, Qian; Xie, Yan Nan; Wu, Shao Xiong; Zhang, Zi Feng; Wu, Zheng Yun; 洪荣墩; 吴正云 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/07/22 Amorphous films  Annealing  Chemical vapor deposition  Manufacture  Optical properties  Plasma enhanced chemical vapor deposition  Refractive index  Silicon  Silicon carbide  Solar cells  Vapors   Application of PECVD SiC in glass micromachining 其他 2007-01-01 Zhang, Haixia; Guo, Hui; Chen, Zhe; Zhang, Guobing; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/12/03 Modifying residual stress and stress gradient in LPCVD Si3N4 film with ion implantation 其他 2006-01-01 Shi, Wendian; Zhang, Haixia; Zhang, Guobing; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/12 LPCVD Si3N4  residual stress  stress gradient  ion implantation  thermal annealing  INTERNAL-STRESS  THIN-FILMS   SiC as a material of MEMS 其他 2005-01-01 Wang, Y; Guo, H; Zhang, HX; Zhang, GB; Li, ZH 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/16 PECVD  SiC  MEMS  thin film  refractive index  PECVD SILICON-CARBIDE