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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 High performance and compact polarization beam splitter based on silicon-on-insulator subwavelength grating coupler 其他 2013-01-01 Yang, Junbo; Shao, Zhengzheng; Zhou, Kuo; Xu, Suzhi; Xu, Jia 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/17 Investigation on micromachining technology compatibility of PECVD SiO 2/Si3N4 double-layer electrets 其他 2008-01-01 Liu, Jin; Lv, Zhiqiu; Zhang, Jinwen 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/10 Investigation on micromachining technology compatibility of PECVD SiO(2)/Si(3)N(4) double-layer electrets 其他 2008-01-01 Liu, Jin; Lv, Zhiqiu; Zhang, Jinwen 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 SiO(2)/Si(3)N(4) double-layer  electret  PECVD  micromachining technology  charge stability