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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Design and Simulation of Corrugated Diaphragm Applied to the MEMS Fiber Optic Pressure Sensor 其他 2016-01-01 Gui, Yiming; Zhang, Yangxi; Liu, Guandong; Hao, Yilong; Gao, Chengchen 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2017/12/03 MEMS  corrugated diaphragm  sensitivity  FABRICATION   Tunable MEMS Capacitors Considering Deformation Factor 其他 2009-01-01 Fang, Dong-Ming; Zhang, Hai-Xia; Zhao, Xiao-Lin 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/10 tunable capacitor  Microelectromechanical System  pull-in voltage  deformation  PULL-IN  DESIGN  ACTUATORS