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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Silicon Carbide Capacitive Pressure Sensors with arrayed sensing membranes 其他 2013-01-01 Meng, Bo; Tang, Wei; Peng, Xuhua; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13 silicon carbide  pressure sensor  arrayed sensing membranes  PDMS packaging  HARSH ENVIRONMENTS  MEMS   An optimized fabrication of high yield CMOS-compatible silicon carbide capacitive pressure sensors 其他 2012-01-01 Meng, B.; Tang, W.; Wang, Z.R.; Zhang, H.X. 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 Design and fabrication of a MEMS capacitive accelerometer based on double-device-layers SOI wafer 其他 2010-01-01 Hu, Qifang; Gao, Chengchen; Hao, Yilong; Zhang, Dacheng; Yan, Guizhen; Zhang, Yangxi 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13