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北京大学 [2]
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其他 [2]
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2005 [1]
1995 [1]
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不同牺牲层材料上LPCVD氮化硅薄膜内应力的测试与研究
其他
2005-01-01
王莎莎
;
陈兢
;
张海霞
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/11
氮化硅薄膜
牺牲层材料
微机械系统
残余应力测试
LPCVD
北美板块构造应力场及其驱动力的数值反演
其他
1995-01-01
王世民
;
王仁
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2015/10/23
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