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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Microstructure and mechanical properties of SiCN hard films deposited by an arc enhanced magnetic sputtering hybrid system 会议论文 作者:  Ma, Shengli;  Xu, Bin;  Wu, Guizhi;  Wang, Yanfeng;  Ma, Fei 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 SiCN films  Nanocomposites  AEMS  Friction coefficient  Hardness   Preparation and characterization of SiCN films 会议论文 8th IUMRS International Conference on Electronic Materials (IUMRS/ICEM), XIAN, PEOPLES R CHINA, JUN 10-14, 2002 作者:  Xie, EQ;  Ma, ZW;  Lin, HF;  Zhang, ZM;  He, DY 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2015/07/31 SiCN films  XRD  IR  XPS  AFM  field emission