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科研机构
大连理工大学 [2]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2009 [1]
2006 [1]
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自持金刚石厚膜上GaN薄膜的沉积及其表征
会议论文
TFC’09全国薄膜技术学术研讨会, 中国四川成都, 2009-08-15
作者:
张东
;
白亦真
;
秦福文
;
贾福超
;
赵纪军
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提交时间:2019/12/24
厚膜
氮气流量
衍射谱
气相沉积
扫描电子显微镜
高能电子衍射
择优取向
原子力显微镜
MOCVD
金属有机化合物
采用ECR-PECVD技术低温生长多晶硅薄膜
会议论文
2006北京国际材料周暨中国材料研讨会, 北京, 2006-09-01
作者:
秦福文
;
吴爱民
;
王艳艳
;
冯庆浩
;
李伯海
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提交时间:2019/12/27
ECR-PECVD
多晶硅薄膜
反射高能电子衍射
电子回旋共振
低温外延
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