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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 碳化钛掺杂含氢类金刚石薄膜的力学和机械性能研究 会议论文 2009年全国青年摩擦学学术会议 作者:  王云锋;  王立平;  张广安;  闫鹏勋 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/06/25 类金刚石薄膜  碳化钛  薄膜材料  纳米晶粒  复合结构  磁控溅射  石墨化  微电子机械系统  反应气体  半导体材料   采用直流脉冲等离子体化学气相沉积制备的含氢非晶碳膜的应力释放行为 会议论文 2009年全国青年摩擦学学术会议 作者:  王琦;  王舟;  张俊彦;  贺德衍 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/06/24 非晶碳  应力释放  等离子化学  结构表征  薄膜结构  气相沉积技术  类金刚石  碳膜  直流脉冲  样品结构