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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微米光栅加速度计的光学灵敏度分析 会议论文 2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会, 大连, 2013-07-22 作者:  刘惟芳;  冯丽爽;  姚保寅;  王潇 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/01/06 加速度计  微米光栅  标量衍射理论  光学灵敏度