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光电技术研究所 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2014 [1]
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摆臂式轮廓仪用于平面镜检测时仪器空间状态对测量结果的影响分析
会议论文
第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集, 2014
作者:
高明星
;
景洪伟
;
范天泉
;
陈林
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2016/11/25
摆臂
空间位置关系
轮廓仪
横臂
空间状态
标定过程
检测仪器
测量结果
位置偏差
面形误差
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