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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 大气压微细等离子体射流及SiC无掩膜刻蚀研究 会议论文 2013年全国光学与精密测量博士生学术论坛 作者:  刘新;  徐文骥 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/13 射频感应耦合等离子体的模式跳变及偏压效应的实验研究 会议论文 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会论文集中国力学学会;中国物理学会;中国核学会, 上海, 2013-08-15 作者:  高飞;  刘巍;  张钰如;  赵书霞;  李雪春 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/11 等离子体密度  离子能量  等离子体源  工作气压  刻蚀工艺  感应耦合  辅助加工  半导体芯片  电子密度  发光强度   低气压双频容性耦合氩氧混合放电离子能量分布 会议论文 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会, 上海, 2013-08-15 作者:  刘佳;  张权治;  刘永新;  高飞;  王友年 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/11 容性耦合  能量分布  角分布  刻蚀工艺  离子能量  电离子  离子通量  鞘层  高能区  碰撞截面   细胞免疫荧光分析芯片 会议论文 申洁; 路途; 彭俊雅; 林志祥; 黄蕾; 庞玉宏; 俞立; 黄岩谊 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 免疫荧光染色技术 蛋白质分布 微流控芯片技术 气压微阀