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| 一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器 专利 专利号: ZL201611160348.2, 申请日期: 2019-03-05, 作者: 贺建武; 康琦; 段俐; 胡良; 马隆飞 收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2020/02/09 |
| 一种金属薄膜溅射的PVD工艺 专利 专利号: CN201510375208.6, 申请日期: 2018-12-04, 公开日期: 2017-01-11 作者: 高建峰; 唐兆云; 殷华湘; 李俊峰; 赵超 收藏  |  浏览/下载:42/0  |  提交时间:2019/03/26 |
| 一种干式微小颗粒分离方法 专利 专利号: CN106179760B, 申请日期: 2017-08-01, 公开日期: 2017-08-01 作者: 贺亚峰; 冯帆; 闫佳; 刘富成; 范伟丽 收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2019/12/26 |
| 多晶硅薄膜的制备方法以及光电器件 专利 专利号: CN106653572A, 申请日期: 2017-05-10, 公开日期: 2017-05-10 作者: 芦子玉; 邬苏东; 叶继春; 高平奇; 丁丽 收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2018/01/11 |
| 一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器 专利 申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2017-01-04 作者: 高飞; 王友年 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/09 |
| 一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器 专利 申请日期: 2016-01-01, 公开日期: 2017-04-26 作者: 高飞; 王友年 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/09 |
| 一种等离子体-热丝-偏压结合制备硅薄膜的装置及方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201310121151.8, 申请日期: 2015-11-01, 公开日期: 2014-10-15 作者: 李灿; 秦炜; 刘生忠; 王书博 收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2015/11/16 |
| 等离子体薄膜沉积装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN203999809U, 申请日期: 2014-12-10, 公开日期: 2014-12-10, 2014-12-10, 2014-12-10, 2014-12-10 叶继春; 邬苏东; 高平奇; 杨映虎; 韩灿 收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2015/09/20 |
| 一种添加选择性检测试剂的介质阻挡放电质谱电离源装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN201210536370.8, 申请日期: 2014-01-01, 公开日期: 2014-06-18 侯可勇; 陈文东; 李海洋; 李芳龙; 陈平; 谢园园 收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2014/09/25 |
| 一种射频微等离子体口腔根管消毒装置 专利 申请日期: 2013-07-24, 作者: 李兵; 姜涛; 赵会娜; 李昂 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/03 |