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| 一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器 专利
专利号: ZL201611160348.2, 申请日期: 2019-03-05,
作者: 贺建武; 康琦; 段俐; 胡良; 马隆飞
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| 一种金属薄膜溅射的PVD工艺 专利
专利号: CN201510375208.6, 申请日期: 2018-12-04, 公开日期: 2017-01-11
作者: 高建峰 ; 唐兆云; 殷华湘; 李俊峰; 赵超
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| 一种干式微小颗粒分离方法 专利
专利号: CN106179760B, 申请日期: 2017-08-01, 公开日期: 2017-08-01
作者: 贺亚峰; 冯帆; 闫佳; 刘富成; 范伟丽
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| 多晶硅薄膜的制备方法以及光电器件 专利
专利号: CN106653572A, 申请日期: 2017-05-10, 公开日期: 2017-05-10
作者: 芦子玉; 邬苏东; 叶继春; 高平奇; 丁丽
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| 一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器 专利
申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2017-01-04
作者: 高飞; 王友年
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| 一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器 专利
申请日期: 2016-01-01, 公开日期: 2017-04-26
作者: 高飞; 王友年
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| 一种等离子体-热丝-偏压结合制备硅薄膜的装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201310121151.8, 申请日期: 2015-11-01, 公开日期: 2014-10-15
作者: 李灿; 秦炜; 刘生忠; 王书博
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| 等离子体薄膜沉积装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN203999809U, 申请日期: 2014-12-10, 公开日期: 2014-12-10, 2014-12-10, 2014-12-10, 2014-12-10
叶继春; 邬苏东; 高平奇; 杨映虎; 韩灿
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| 一种添加选择性检测试剂的介质阻挡放电质谱电离源装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201210536370.8, 申请日期: 2014-01-01, 公开日期: 2014-06-18
侯可勇; 陈文东; 李海洋; 李芳龙; 陈平; 谢园园
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| 一种射频微等离子体口腔根管消毒装置 专利
申请日期: 2013-07-24,
作者: 李兵; 姜涛; 赵会娜; 李昂
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