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西安光学精密机械研究... [2]
力学研究所 [1]
内容类型
专利 [3]
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2020 [1]
2012 [1]
2008 [1]
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基于动态定量相位成像的半导体晶圆表面形貌测量装置
专利
专利号: CN202010495564.2, 申请日期: 2020-06-03, 公开日期: 2020-09-15
作者:
段亚轩
;
达争尚
;
陈晓义
;
王璞
;
李铭
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2021/11/19
基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102221327, 申请日期: 2012-07-11, 公开日期: 2014-05-06
作者:
但旦
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2014/05/04
入射角度扫描椭偏成像测量方法和装置
专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL2004100382619, 申请日期: 2008-02-20, 公开日期: 2012-12-28
作者:
孟永宏
;
靳刚
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/12/28
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