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基于动态定量相位成像的半导体晶圆表面形貌测量装置 专利
专利号: CN202010495564.2, 申请日期: 2020-06-03, 公开日期: 2020-09-15
作者:  段亚轩;  达争尚;  陈晓义;  王璞;  李铭
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基于泽尼克相衬成像的相移干涉显微装置及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102221327, 申请日期: 2012-07-11, 公开日期: 2014-05-06
作者:  但旦
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入射角度扫描椭偏成像测量方法和装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL2004100382619, 申请日期: 2008-02-20, 公开日期: 2012-12-28
作者:  孟永宏;  靳刚
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