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SOI超结LDMOS器件的LDD、LDS及缓冲层一体化制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102130012A, 申请日期: 2011-07-20, 公开日期: 2011-07-20
程新红; 何大伟; 王中健; 徐大伟; 夏超; 宋朝瑞; 俞跃辉
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