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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
专利 [4]
发表日期
2009 [1]
2005 [3]
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内容类型:专利
专题:上海微系统与信息技术研究所
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利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101492150, 申请日期: 2009-07-29, 公开日期: 2009-07-29
于海涛
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李昕欣
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李俊纲
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许鹏程
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杨天天
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/01/06
一种玻璃微流控芯片的低温键合方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1648662, 申请日期: 2005-08-03, 公开日期: 2005-08-03
金庆辉
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庄贵生
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刘菁
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贾春平
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赵建龙
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/01/06
微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1603743, 申请日期: 2005-04-06, 公开日期: 2005-04-06
李昕欣
;
陈雪萌
;
宋朝辉
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/06
磷化铟和砷化镓材料的直接键合方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1588612, 申请日期: 2005-03-02, 公开日期: 2005-03-02
吴惠桢
;
劳燕锋
;
郝幼生
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/01/06
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