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利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101492150, 申请日期: 2009-07-29, 公开日期: 2009-07-29
于海涛; 李昕欣; 李俊纲; 许鹏程; 杨天天
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一种玻璃微流控芯片的低温键合方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1648662, 申请日期: 2005-08-03, 公开日期: 2005-08-03
金庆辉; 庄贵生; 刘菁; 贾春平; 赵建龙
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微梁直拉直压结构压阻微机械陀螺及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1603743, 申请日期: 2005-04-06, 公开日期: 2005-04-06
李昕欣; 陈雪萌; 宋朝辉; 王跃林
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磷化铟和砷化镓材料的直接键合方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1588612, 申请日期: 2005-03-02, 公开日期: 2005-03-02
吴惠桢; 劳燕锋; 郝幼生
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