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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：专利    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种提高硅衬底化学机械抛光速率的抛光组合物及其应用 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101857774A, 申请日期: 2010-10-13, 公开日期: 2010-10-13 汪海波; 宋志棠; 刘卫丽 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2012/01/06 SiSb基相变材料用化学机械抛光液 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101586005, 申请日期: 2009-11-25, 公开日期: 2009-11-25 王良咏; 宋志棠; 刘波; 封松林 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 硫系化合物相变材料氧化铈化学机械抛光液 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101372606, 申请日期: 2009-02-25, 公开日期: 2009-02-25 王良咏; 宋志棠; 刘波; 封松林 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/01/06 一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101016439, 申请日期: 2007-08-15, 公开日期: 2007-08-15 王良咏; 张楷亮; 宋志棠; 封松林 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/01/06 金属化学机械抛光的抛光液原位批处理方法及所使用的装置 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN1915595, 申请日期: 2007-02-21, 公开日期: 2007-02-21 张楷亮; 宋志棠; 封松林; 陈邦明 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/06