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多层材料的减薄装置及减薄待测样品的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 102520212A, 申请日期: 2013-10-30, 公开日期: 2014-01-20
作者:  钟海舰;  徐科;  曾雄辉;  王建峰;  刘争晖
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材料表面局部光谱测量装置及测量方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 102519885A, 申请日期: 2013-07-10, 公开日期: 2014-01-20
作者:  刘争晖;  曾雄辉;  王建峰;  徐科;  钟海舰
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半导体材料测量装置及原位测量界面缺陷分布的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 102495089A, 申请日期: 2013-07-10, 公开日期: 2014-01-20
作者:  徐科;  邱永鑫;  钟海舰;  王建峰;  刘争晖
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