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宁波材料技术与工程研... [2]
理论物理研究所 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2020 [2]
2002 [1]
1996 [1]
学科主题
Physics [4]
Materials ... [2]
Applied [1]
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学科主题:Physics
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(100) oriented diamond film prepared on amorphous carbon buffer layer containing nano-crystalline diamond grains
期刊论文
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2020, 卷号: 385
作者:
Lu, Yunxiang
;
Man, Weidong
;
Wang, Bo
;
Rosenkranz, Andreas
;
Yang, Mingyang
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浏览/下载:119/0
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提交时间:2020/12/16
HOT-FILAMENT CVD
ELECTRICAL-PROPERTIES
GROWTH
MORPHOLOGY
BEHAVIOR
SILICON
NUCLEATION
TEXTURE
QUALITY
MPCVD
Structural and mechanism study on enhanced thermal stability of hydrogenated diamond-like carbon films doped with Si/O
期刊论文
DIAMOND AND RELATED MATERIALS, 2020, 卷号: 108
作者:
Zhang, Dong
;
Li, Shuyu
;
Zuo, Xiao
;
Guo, Peng
;
Ke, Peiling
收藏
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浏览/下载:6/0
  |  
提交时间:2020/12/16
AMORPHOUS-CARBON
TRIBOLOGICAL PROPERTIES
NANOCOMPOSITE FILMS
OPTICAL-PROPERTIES
INTERNAL-STRESS
SUBSTRATE BIAS
DLC COATINGS
SILICON
SIOX
DEPOSITION
Tetrahedral amorphous-carbon thin films for silicon-on-insulator application
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2002, 卷号: 80, 期号: 5, 页码: 743-745
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Li,CL
;
Zou,SC
;
Zhang,FM
;
Wang,X
;
Shen,DS
;
Luo,EZ
;
Sundaravel,B
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
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浏览/下载:56/0
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提交时间:2012/03/24
DIAMOND-LIKE CARBON
COMPRESSIVE-STRESS
ION
ENERGY
Tight-binding molecular dynamics study of C-60, C-116 and C-120
期刊论文
MODERN PHYSICS LETTERS B, 1996, 卷号: 10, 期号: 17, 页码: 831-838
作者:
Xiang, JB
;
Cao, ZL
;
Ding, PZ
;
Yu, XP
;
Han, RS
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/08/29
Solid C-60
Electronic-properties
Amorphous-carbon
C60
Silicon
Films
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