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科研机构
上海应用物理研究所 [2]
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期刊论文 [2]
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2008 [1]
2004 [1]
学科主题
Physics [2]
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学科主题:Physics
专题:上海应用物理研究所
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Selective growth of diamond by hot filament CVD using patterned carbon film as mask
期刊论文
NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES, 2008, 卷号: 19, 期号: 2, 页码: 83
He, ZT(贺周同)
;
Yang, SM
;
Li, QT(李勤涛)
;
Zhu, DZ(朱德彰)
;
Gong, JL(巩金龙)
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提交时间:2012/04/18
Effect of ion dose on growth of relaxed SiGe layer on ion implantation Si substrate
期刊论文
JOURNAL OF RARE EARTHS, 2004, 卷号: 22, 页码: 26
Chen, CC(陈长春)
;
Liu, ZH
;
Huang, WT
;
Dou, WZ
;
Xiong, XY
;
Zhang, W(张伟)
;
Peihsin, T
;
Cao, JQ(曹建清)
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/05/11
strain relaxation
UHVCVD
ion implantation
SiGe
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