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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Chaos theory - Controllers - Equipment - Experiments - Iterative methods - Optical instruments - Scanning - Synchronization    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Iterative learning control for synchronization of reticle stage and wafer stage in step-and-scan lithographic equipment 会议论文 Proceedings of SPIE: International Symposium on Photoelectronic Detection and Imaging 2013: Micro/Nano Optical Imaging Technologies and Applications, 2013 作者:  Li, Lan-Lan;  Hu, Song;  Zhao, Li-Xin;  Ma, Ping 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/11/24