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等离子体增强化学气相沉积法制备非晶氮化碳薄膜及其性能研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院, 2006
作者:  郝俊英
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磁过滤阴极弧等离子体法氮化钛薄膜的制备及其应用性能的研究 学位论文
理学博士: 中国科学院研究生院, 2004
张玉娟
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