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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication and characterization of an SOI MEMS gyroscope 期刊论文 journal of semiconductors, 2013, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 064004 Zhong Weiwei; Han Guowei; Si Chaowei; Ning Jin; Yang Fuhua 收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2014/05/16 Bandwidth Optimization Design of a Multi Degree of Freedom MEMS Gyroscope 期刊论文 sensors, 2013, 卷号: 13, 期号: 8, 页码: 10550-10560 Chaowei Si, Guowei Han, Jin Ning and Fuhua Yang 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2014/04/09