QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015 杨健 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2015/06/02 氮化铝  MEMS  谐振器  有限单元法  压电系数测试  ICP刻蚀   基于MEMS技术的开关研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 魏伟伟 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2015/06/02 基于MEMS工艺技术的无线网络压力传感器芯片设计及应用研究 期刊论文 电子技术应用, 2010, 卷号: 36, 期号: 7, 页码: 13-16 郭源生; 刘忠立 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2011/08/16