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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：微电子学    专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Influence of high-dose nitrogen implantation on the positive charge density of the buried oxide of silicon-on-insulator wafers 期刊论文 acta physica sinica, 2011, 卷号: 60, 期号: 5, 页码: article no.56104 作者:  Yu F 收藏  |  浏览/下载：93/6  |  提交时间：2011/07/06 separation by oxygen implantation  buried oxide  nitrogen implantation  positive charge density  RADIATION HARDNESS  IMPLANTING NITROGEN  ION-IMPLANTATION  IMPROVEMENT  TECHNOLOGY  OXYGEN  LAYER   Radiation hardness improvement of separation-by-implantation-of-oxygen/silicon-on-insulator material by nitrogen ion implantation 期刊论文 journal of electronic materials, 2005, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: l53-l56 Zhang EX; Sun JY; Chen J; Zhang ZX; Wang X; Li N; Zhang GQ; Liu ZL 收藏  |  浏览/下载：193/29  |  提交时间：2010/03/17 silicon-on-insulator (SOI)