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科研机构
半导体研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2005 [1]
学科主题
微电子学 [1]
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学科主题:微电子学
专题:半导体研究所
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Radiation hardness improvement of separation-by-implantation-of-oxygen/silicon-on-insulator material by nitrogen ion implantation
期刊论文
journal of electronic materials, 2005, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: l53-l56
Zhang EX
;
Sun JY
;
Chen J
;
Zhang ZX
;
Wang X
;
Li N
;
Zhang GQ
;
Liu ZL
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提交时间:2010/03/17
silicon-on-insulator (SOI)
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