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科研机构
半导体研究所 [4]
内容类型
专利 [3]
学位论文 [1]
发表日期
2016 [1]
学科主题
微电子学 [4]
半导体器件 [1]
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学科主题:微电子学
专题:半导体研究所
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基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器及其应用研究
学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
吕兴东
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2016/06/02
MEMS驱动器
洛伦兹力
折叠梁
大位移
可变光衰减器
射频开关
一种挡光式微机电可变光衰减器的制作方法
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
毛旭
;
魏伟伟
;
吕兴东
;
杨晋玲
;
杨富华
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2014/11/05
阵列型微机电可变光衰减器
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
毛旭
;
吕兴东
;
魏伟伟
;
杨晋玲
;
杨富华
收藏
  |  
浏览/下载:1/0
  |  
提交时间:2014/11/05
一种挡光式微机电可变光衰减器
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-12
毛旭
;
吕兴东
;
魏伟伟
;
杨晋玲
;
杨富华
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2014/11/05
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