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主动抛光盘面形控制的力控制方法及其设备(发明) 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN200610037806.3, 申请日期: 2009-05-13, 公开日期: 2006-07-12
李颖; 汪达兴
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对主动抛光盘在加工、测量状态下盘面的变形 及提升的数学分析 期刊论文
光学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 4, 页码: 525-532
高必烈
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