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科研机构
上海光学精密机械研究... [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2007 [2]
2005 [1]
学科主题
光学薄膜 [3]
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学科主题:光学薄膜
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Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
收藏
  |  
浏览/下载:825/182
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
用不同的Mo靶溅射功率制备Mo/Si多层膜
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 67, 70
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
收藏
  |  
浏览/下载:947/167
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo靶
Atomic force microscopy
Mo/Si多层膜
Magnetron sputtering
溅射功率
Molybdenum
软X射线
Reflection
反射率
Surface morphology
Surface roughness
X ray diffraction analysis
X rays
Influence of oxygen partial pressure on the structure and photoluminescence of direct current reactive magnetron sputtering ZnO thin films
期刊论文
thin solid films, 2005, 卷号: 473, 期号: 1, 页码: 58, 62
洪瑞金
;
齐红基
;
Huang JB
;
He GB
;
范正修
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:518/55
  |  
提交时间:2009/09/22
zinc oxide
sputtering
liminescence
optical properties
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