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科研机构
上海光学精密机械研究... [6]
内容类型
期刊论文 [6]
发表日期
2008 [3]
2006 [3]
学科主题
光学薄膜 [6]
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学科主题:光学薄膜
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HfO2的纯度对紫外多层膜反射率的影响
期刊论文
Chin. Opt. Lett., 2008, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 222, 224
袁景梅
;
齐红基
;
赵元安
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:1132/161
  |  
提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Glow discharge mass spectrum
紫外膜
Ultraviolet multilayer
ZrO2
HfO2
光学性能
Influence of ZrO
2
in HfO
2
on reflectance of HfO
2
/SiO
2
multilayer at 248 nm prepared by electron-beam evaporation
期刊论文
appl. surf. sci., 2008, 卷号: 254, 期号: 15, 页码: 4864, 4867
Yuan Jingmei
;
Yuan Lei
;
贺洪波
;
Yi Kui
;
范正修
;
邵建达
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浏览/下载:660/148
  |  
提交时间:2009/09/22
HfO2/SiO2 multilayer
ZrO2 impurity
reflectance
不同方法制备的Ta_2O_5薄膜光学性能和激光损伤阈值的对比分析
期刊论文
中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 10, 页码: 1595, 1599
许程
;
董洪成
;
肖祁陵
;
麻健勇
;
晋云霞
;
邵建达
收藏
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浏览/下载:675/151
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提交时间:2009/09/22
薄膜
激光损伤阈值
吸收
退火
Beam evaporations
Damage thresholds
High purities
Impurity contents
Laser induced damage threshold
Mean squares
Microdefect densities
RMS roughnesses
Starting materials
HfO2 膜料中的杂质对薄膜损伤及性能的影响
期刊论文
稀有金属材料与工程, 2006, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 757, 760
Wu SG
;
邵建达
;
Yi K
;
Zhao YN
;
范正修
收藏
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浏览/下载:664/112
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提交时间:2009/09/22
HfO2 coating material
impurities
metal element
absorption dielectric
Zr element
negative ion element
Influence of negative ion element impurities on laser induced damage threshold of HfO2 thin film
期刊论文
appl. surf. sci., 2006, 卷号: 253, 期号: 3, 页码: 1111, 1115
Wu ShiGang
;
Tian GuangLei
;
夏志林
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:742/94
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提交时间:2009/09/22
negative ion elements
impurities breakdown model
HfO2 thin film
weak absorption
LIDT
负离子元素杂质破坏模型
期刊论文
物理学报, 2006, 卷号: 55, 期号: 4, 页码: 1987, 1990
吴师岗
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:438/67
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提交时间:2009/09/22
负离子元素杂质
缺陷
吸收
损伤阈值
negative-ion element impurities
defects
absorption
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