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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2006 [2]
学科主题
光学薄膜 [2]
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学科主题:光学薄膜
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高光洁度玻璃基片的表面散射和体散射测量
期刊论文
强激光与粒子束, 2006, 卷号: 18, 期号: 4, 页码: 609, 611
侯海虹
;
洪瑞金
;
范正修
;
易葵
;
邵建达
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提交时间:2009/09/22
表面散射
体散射
总积分散射
玻璃基片
表面粗糙度
沉积温度对电子束蒸发HfO2薄膜残余应力的影响
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 827, 831
申雁鸣
;
贺洪波
;
邵淑英
;
范正修
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浏览/下载:725/114
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提交时间:2009/09/22
薄膜
HfO2薄膜
残余应力
沉积温度
基底
电子束蒸发
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