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上海光学精密机械研究... [3]
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学位论文 [3]
学科主题
光学工程 [3]
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学科主题:光学工程
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基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
收藏
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浏览/下载:278/0
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
多单频高功率光纤激光放大器理论和实验研究
学位论文
作者:
赵翔
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2018/12/26
光纤激光器,多单频信号光,光纤放大器,受激布里渊散射,偏振控制,光束质量
fiber lasers, multi-single-frequency laser, fiber amplifier, stimulated Brillouin scattering, polarization control, beam quality
低振荡色散镜的设计、制备及性能研究
学位论文
作者:
刘加
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2018/12/26
色散镜
Dispersive Mirror
群延迟色散
Group Delay Dispersion
低色散振荡
Low Dispersion Oscillation
超短脉冲
Ultrashort Pulse
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