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上海光学精密机械研... [17]
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学位论文 [17]
学科主题
光学工程 [17]
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基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
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浏览/下载:273/0
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
皮秒脉冲激光时间特性测量技术研究
学位论文
作者:
孔雪
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2018/12/26
高功率激光,超短脉冲,脉宽测量,单次自相关
High Power Laser, Ultrashort Pulse, Pulsewidth Measurement, Single-shot Autocorrelation
在线可更换模块(LRU)调平与对接关键技术研究
学位论文
作者:
王世魏
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2018/12/26
混联机构
Hybrid mechanism
调平与对接
Leveling and docking
同时建图与定位
SLAM
二维码定位
Positioning by Qr-code
星载大气激光雷达光机集成分析的研究
学位论文
作者:
穆永吉
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2018/12/26
激光雷达,光机集成分析,有限元分析,光学设计,Zernike拟合
Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting
基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术
学位论文
作者:
董冠极
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2018/12/26
光学检测
Optical Measurement
像差
Aberration
泽尼克多项式
Zernike polynomials
点衍射干涉
Point-diffraction
星载激光雷达激光频率精密控制技术研究
学位论文
作者:
杜娟
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/12/26
频率调制光谱稳频,光学锁相环,1572nm种子激光器,1064nm种子激光器,IPDA激光雷达,高光谱分辨率激光雷达
Frequency-modulation spectrum stabilization, Optical phase-locked loop, 1572nm seed laser, 1064nm seed laser, IPDA lidar, High spectral resolution lidar
空间激光通信ATP系统的快速反射镜驱动技术
学位论文
作者:
赵学强
收藏
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2018/12/26
光通信
Optical communication
ATP
ATP
FSM
Fast steering mirror
模拟驱动电路
Analog drive circuit
高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究
学位论文
作者:
程伟林
收藏
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浏览/下载:121/0
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提交时间:2018/12/26
高端光刻机照明系统
Advanced lithographic illumination
智能均匀性校正技术
intelligent uniformity correction
手指阵列式均匀性校正技术
finger arreys uniformity correction
阵列式手指驱动技术
finger array driving technology
星载激光雷达激光频率精密控制技术研究
学位论文
作者:
杜娟
收藏
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2018/12/26
频率调制光谱稳频
Frequency-modulation spectrum stabilization
光学锁相环
Optical phase-locked loop
1572nm种子激光器
1572nm seed laser
1064nm种子激光器
1064nm seed laser
IPDA激光雷达
IPDA lidar
高光谱分辨率激光雷达
High spectral resolution lidar
机载双频激光雷达波形深度提取方法研究
学位论文
作者:
刘梦庚
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2018/12/26
双频激光雷达
Dual-FrequencyLidar, Full-Waveform signal processing, DEM, daptive depth extraction algorithm
全波形数据处理
三维地形
自适应深度提取
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