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上海光学精密机械研究... [8]
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学位论文 [8]
学科主题
光学工程 [8]
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基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
收藏
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浏览/下载:273/0
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
基于低平流层激光测风雷达的光学鉴频器精密温控与光谱标定技术研究
学位论文
作者:
赵存峰
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2018/12/26
激光测风雷达
Wind Lidar
光学鉴频器
Optical discriminator
温度
Temperature
光谱标定
Spectral calibration
在线可更换模块(LRU)调平与对接关键技术研究
学位论文
作者:
王世魏
收藏
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2018/12/26
混联机构
Hybrid mechanism
调平与对接
Leveling and docking
同时建图与定位
SLAM
二维码定位
Positioning by Qr-code
星载大气激光雷达光机集成分析的研究
学位论文
作者:
穆永吉
收藏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2018/12/26
激光雷达,光机集成分析,有限元分析,光学设计,Zernike拟合
Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting
光栅尺关键技术研究
学位论文
作者:
卢炎聪
收藏
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浏览/下载:185/0
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提交时间:2018/12/26
光栅干涉仪
grating interferometer
标尺光栅
grating scale
光学细分
optical subdivision
信号探测
signal acquisition
位移测量
displacement measurement
调平聚焦伺服控制系统的优化设计
学位论文
作者:
宗永红
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2018/12/26
光栅
grating
调平调焦
leveling and focusing
差动像散
differential astigmatism
反馈控制
feedback control
误差分析与校正
error analysis and correction
基于激光直写系统的衍射光栅制备
学位论文
作者:
王津
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2018/12/26
激光直写系统
direct laser writing system
衍射光栅
diffraction gratings
旋转达曼光栅技术
rotating Dammann grating technology
偏振频域光学相干层析成像技术研究
学位论文
作者:
陈艳
收藏
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浏览/下载:79/0
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提交时间:2018/12/26
光学相干层析成像
optical coherence tomography
偏振
polarization
光谱校准
spectral calibration
复共轭镜像
complex conjugate artifact
散斑噪声
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