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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：273/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   高功率光纤光栅的刻写及其特性研究 学位论文 作者:  王迪 收藏  |  浏览/下载：74/0  |  提交时间：2018/12/26 双包层高功率光纤光栅  Fiber Bragg Grating in Double-Clad fiber  相位掩模板法  Phase Msak Method  模式耦合  Modal Coupling  光热效应  Photothermal effect  损耗  Loss   高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究 学位论文 作者:  程伟林 收藏  |  浏览/下载：121/0  |  提交时间：2018/12/26 高端光刻机照明系统  Advanced lithographic illumination  智能均匀性校正技术  intelligent uniformity correction  手指阵列式均匀性校正技术  finger arreys uniformity correction  阵列式手指驱动技术  finger array driving technology   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：96/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)