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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：266/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术 学位论文 作者:  董冠极 收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2018/12/26 光学检测  Optical Measurement  像差  Aberration  泽尼克多项式  Zernike polynomials  点衍射干涉  Point-diffraction   飞秒激光成丝诱导远程击穿光谱技术 学位论文 作者:  郭豪 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2018/12/26 飞秒激光成丝  Filamentation  激光诱导击穿光谱技术  Laser Induced Breakdown Spectroscopy  远程探测  Remote Detection  偏振光谱  Polarization-Gated Spectroscopy  自吸收效应  Self-Absorption Effect   衍射透镜焦斑的非迭代相干检测研究 学位论文 作者:  王松贤 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2018/12/26 衍射透镜  diffractive lenses  数字全息  digital holography,  微光器件  micro-optical device,  光子筛  photon sieve,  自动对焦  autofocus