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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者:  张伟 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/12/30 表面等离子体光刻，衍射极限，工作距，离轴照明，贝塞尔光束，双曲色散超材料   主动自由曲面补偿光学系统像差研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者:  周超 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2016/12/30 光刻，主动光学，热像差，Zernike 多项式，自由曲面   基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：263/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   高能量宽带CPA、OPCPA放大器及其泵浦源研究 学位论文 作者:  李文启 收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2018/12/26 拍瓦级超强超短激光  petawatt ultra-intense ultra-short laser pulse  光参量啁啾脉冲放大  optical parametric chirped pulse amplification  千焦耳泵浦源系统  pump source system  啁啾脉冲放大  chirped pulse amplification   在线可更换模块（LRU）调平与对接关键技术研究 学位论文 作者:  王世魏 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2018/12/26 混联机构  Hybrid mechanism  调平与对接  Leveling and docking  同时建图与定位  SLAM  二维码定位  Positioning by Qr-code   星载大气激光雷达光机集成分析的研究 学位论文 作者:  穆永吉 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2018/12/26 激光雷达，光机集成分析，有限元分析，光学设计，Zernike拟合  Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting   基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术 学位论文 作者:  王磊 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻  optical lithography  分辨率增强技术  resolution enhancement technique  光源掩模投影物镜优化  source mask projector optimization  粒子群算法  particle swarm optimization   调平聚焦伺服控制系统的优化设计 学位论文 作者:  宗永红 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅  grating  调平调焦  leveling and focusing  差动像散  differential astigmatism  反馈控制  feedback control  误差分析与校正  error analysis and correction   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：91/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)   空间应用光学平台关键温度特性研究 学位论文 作者:  吕挺 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2018/12/26 激光冷却：光学平台  Laser cooling：Optical system：Space application：Temperature response  空间应用  温度响应