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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程    内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于三维测量的高精度激光三角探头的研究 学位论文 硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所, 2007 朱立峰 收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2011/10/09 三维测量  激光三角法  Scheimpflug条件  PSD（位置敏感探测器）   调平聚焦伺服控制系统的优化设计 学位论文 作者:  宗永红 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅  grating  调平调焦  leveling and focusing  差动像散  differential astigmatism  反馈控制  feedback control  误差分析与校正  error analysis and correction   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：91/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)