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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程    内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 多狭缝光电自准直仪狭缝类型与细分算法研究 学位论文 硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009 作者:  刘爱敏 收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2011/10/09 光电自准直仪  自准直原理  频率域分析法  多狭缝类型  CCD亚像素细分算法  MATLAB编程   基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：265/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   高密度光栅中的简化模式方法 学位论文 作者:  项长铖 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2018/12/26 简化模式方法  Simpified modal method  衍射光栅  Diffraction grating  谐振  Resonance  光学测量  Optical measurement   高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究 学位论文 作者:  程伟林 收藏  |  浏览/下载：115/0  |  提交时间：2018/12/26 高端光刻机照明系统  Advanced lithographic illumination  智能均匀性校正技术  intelligent uniformity correction  手指阵列式均匀性校正技术  finger arreys uniformity correction  阵列式手指驱动技术  finger array driving technology   桌面式无掩膜光刻系统的研制 学位论文 作者:  梁鑫 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2018/12/26 桌面式光刻系统  Maskless lithography  小孔检焦系统  automatic tracking  自动跟踪系统  flatness measurement  运动平整度检测   调平聚焦伺服控制系统的优化设计 学位论文 作者:  宗永红 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅  grating  调平调焦  leveling and focusing  差动像散  differential astigmatism  反馈控制  feedback control  误差分析与校正  error analysis and correction   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：95/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)   重复频率固体激光放大器热效应研究 学位论文 作者:  汪超 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2018/12/26 重复频率激光放大器  High-repetition-rate amplifier  热效应  thermal effects  固体激光  solid state laser  高功率激光驱动器  ICF, LD pumping  LD泵浦  lamp pumping  氙灯泵浦