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纳米压印技术的工艺和图形精度研究 期刊论文
半导体光电, 2010
顾文琪
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电子束曝光控制软件系统设计与实现 期刊论文
微细加工技术, 2010
韩立
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2010/09/29
VC++实现电子束曝光专用数据格式文件 期刊论文
计算机应用与软件, 2010
韩立
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电子束曝光数据格式的改进设计与实现 期刊论文
微细加工技术, 2010
韩立
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2010/09/29
热压印中聚合物的研究 期刊论文
电子工业专用设备, 2010
顾文琪
收藏  |  浏览/下载:95/0  |  提交时间:2010/09/29
基于扫描电镜的电子束曝光机对准系统的研制 期刊论文
微细加工技术, 2010
方光荣
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2010/09/29
一种新型电子束曝光文件格式设计及其应用 期刊论文
微细加工技术, 2010
韩立
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2010/09/29
纳米压印光刻技术及其设备研制 期刊论文
中国机械工程, 2010
顾文琪
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气囊气缸式紫外纳米压印系统的设计 期刊论文
半导体光电, 2010
顾文琪
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2010/09/29
纳米级电子束曝光机用图形发生器 期刊论文
微细加工技术, 2010
方光荣
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2010/09/29


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