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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：传感器     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 谢波 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2016/06/04 谐振式压力传感器  静电激励/电容检测  阳极键合真空封装  SOI通孔引线  Au电极无掩膜制作  温度自补偿   静电激励-电容检测谐振式MEMS气压传感器研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院大学, 2014 焦海龙 收藏  |  浏览/下载：69/0  |  提交时间：2014/06/14 MEMS  气压传感器  静电激励  谐振器  气压仪表   无线便携反射式血氧监测传感器研制 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2014 袁佐 收藏  |  浏览/下载：105/0  |  提交时间：2014/06/17 光电容积脉搏波  反射式  血氧计  脉率  血氧饱和度  血管硬化指标