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科研机构
兰州理工大学 [1]
兰州化学物理研究所 [1]
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期刊论文 [2]
发表日期
2022 [2]
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含氢四面体非晶碳膜的制备与结构及力学性能(英文)
期刊论文
硅酸盐学报, 2022, 页码: 1-6
作者:
许世鹏
;
占发琦
;
郑月红
;
陈维铅
;
喇培清
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提交时间:2022/09/22
含氢四面体非晶碳膜
纳米力学性能
等离子增强化学气相沉积
微观结构
非晶含氢碳薄膜本征结构对退火行为的影响
期刊论文
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 7, 页码: 98-106
作者:
贾倩
;
张斌
;
赖振国
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提交时间:2023/12/08
非晶含氢碳薄膜
退火
双极脉冲
直流脉冲
等离子体增强化学气相沉积
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