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基于有限元模型的CZ法硅单晶温度与直径跟踪控制 学位论文
: 西安理工大学, 2019
作者:  万银
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基于深度学习的CZ法硅单晶生长模型辨识与化料进程估计方法研究 学位论文
: 西安理工大学, 2019
作者:  唐秦伟
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2019/12/20


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