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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2019    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Gas flow simulation research on reaction chamber of reactive ion etching 会议论文 Chengdu, China, June 26, 2018 - June 29, 2018 作者:  Zhang, Jingwen;  Bin, Fan;  Li, Zhiwei;  Liu, Xin;  Li, Bincheng 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2021/05/06 Gas flow simulation research on reaction chamber of reactive ion etching 会议论文 Chengdu, China, June 26, 2018 - June 29, 2018 作者:  Zhang, Jingwen;  Bin, Fan;  Li, Zhiwei;  Liu, Xin;  Li, Bincheng 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2020/11/15 Computer simulation  Electrodes  Gases  Heat transfer  Ions  Manufacture  Mass transfer  Pressure distribution  Reactive ion etching  Surface waves  Commercial software  Distribution profiles  Electrode surfaces  Etching uniformity  Fluent(Ansys)  Gas flow distribution  Heat transfer model  Plasma distribution