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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2017     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文 中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581 作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑 收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2018/04/09 集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学