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射频等离子体主动恢复第一镜反射率实验及机理研究 学位论文
博士, 合肥: 中国科学技术大学, 2017
作者:  彭姣
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2018/01/17
低气压射频容性耦合等离子体物理 项目
2017-
作者:  刘永新
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/02
一种干式微小颗粒分离方法 专利
专利号: CN106179760B, 申请日期: 2017-08-01, 公开日期: 2017-08-01
作者:  贺亚峰;  冯帆;  闫佳;  刘富成;  范伟丽
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2019/12/26
D类高效率功率放大器的研究与仿真 会议论文
作者:  孙小孟;  杨进;  杨军;  夏洋;  林亭廷
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2018/07/25
全固态射频电源 会议论文
作者:  孙小孟;  崔晨;  林亭廷;  杨军;  李欣
收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2018/07/25
大功率射频电源的开发研究 会议论文
作者:  李欣;  孙小孟;  李勇滔;  夏洋;  林亭廷
收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2018/07/25
射频热等离子体反应器模拟及优化 学位论文
北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者:  何家平
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2018/06/13
多晶硅薄膜的制备方法以及光电器件 专利
专利号: CN106653572A, 申请日期: 2017-05-10, 公开日期: 2017-05-10
作者:  芦子玉;  邬苏东;  叶继春;  高平奇;  丁丽
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/01/11
碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文
中国激光, 2017, 页码: 170-175
作者:  王依;  卢启鹏;  高云国
收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2018/04/09

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