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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2017    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fluid simulation of the pulsed bias effect on inductively coupled nitrogen discharges for low-voltage plasma immersion ion implantation 期刊论文 CHINESE PHYSICS B, 2017, 卷号: 26 作者:  Sun, Xiao-Yan;  Zhang, Yu-Ru;  Li, Xue-Chun;  Wang, You-Nian 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/12/02 fluid simulation  low-voltage plasma immersion ion implantation  N-2 inductive discharge   Bias effects on AlMgB thin films prepared by magnetron sputtering 期刊论文 SURFACE ENGINEERING, 2017, 卷号: 33, 页码: 592-596 作者:  Jing, S.;  Bai, Y.;  Qin, F.;  Xiao, J. 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/02 AlMgB thin films  Magnetron sputtering  Negative bias voltage  Thickness  Hardness   Plasma Actuator Performance Driven by Dual-Power Supply Voltage-AC High Voltage Superimposed With Pulse Bias Voltage 期刊论文 IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 2017, 卷号: 45, 页码: 412-422 作者:  Qi, Xiao-Hua;  Yang, Liang;  Yan, Hui-Jie;  Jin, Ying;  Ren, Chun-Sheng 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/02 Actuator performance  atmospheric pressure discharge plasma  dual-power supply voltage  pulse parameter  schlieren visualization  surface dielectric barrier discharge (SDBD)   Experimental investigation of SDBD plasma actuator driven by AC high voltage with a superimposed positive pulse bias voltage 期刊论文 PHYSICS OF PLASMAS, 2017, 卷号: 24 作者:  Qi, Xiao-Hua;  Yan, Hui-Jie;  Yang, Liang;  Hua, Yue;  Ren, Chun-Sheng 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/09 Study on atomic layer etching of Si in inductively coupled Ar/Cl-2 plasmas driven by tailored bias waveforms 期刊论文 PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2017, 卷号: 19 作者:  Ma, Xiaoqin;  Zhang, Saiqian;  Dai, Zhongling;  Wang, Younian 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/09 atomic layer etching  multi-scale model  tailored bias voltage waveforms  ion energy and angular distributions