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科研机构
大连理工大学 [4]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [1]
发表日期
2017 [4]
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共4条,第1-4条
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发表日期:2017
专题:大连理工大学
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单晶硅多次加工时的亚表面损伤仿真分析
期刊论文
中国科技论文, 2017, 卷号: 12, 页码: 374-378
作者:
郭晓光
;
李洋
;
翟昌恒
;
康仁科
;
金洙吉
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/02
机械加工
单晶硅
分子动力学
亚表面损伤
多次加工
单晶硅磨削过程中损伤演化的MD仿真研究
学位论文
: 大连理工大学, 2017
作者:
李强
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/03
单晶硅
分子动力学
磨削过程
纳米压痕
温度变化
硅片低损伤磨削砂轮及其磨削性能
期刊论文
光学精密工程, 2017, 卷号: 25, 页码: 2689-2696
作者:
王紫光
;
高尚
;
朱祥龙
;
董志刚
;
康仁科
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/03
单晶硅
软磨料砂轮
化学机械磨削
表面粗糙度
表面/亚表面损伤
金刚石砂轮磨削单晶硅片面形变化规律
期刊论文
金刚石与磨料磨具工程, 2017, 卷号: 37, 页码: 6-10
作者:
陈修艺
;
刘海军
;
朱祥龙
;
康仁科
;
董志刚
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/12/09
磨削硅片
残余应力
曲率
晶向
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