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单晶硅多次加工时的亚表面损伤仿真分析 期刊论文
中国科技论文, 2017, 卷号: 12, 页码: 374-378
作者:  郭晓光;  李洋;  翟昌恒;  康仁科;  金洙吉
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单晶硅磨削过程中损伤演化的MD仿真研究 学位论文
: 大连理工大学, 2017
作者:  李强
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/03
硅片低损伤磨削砂轮及其磨削性能 期刊论文
光学精密工程, 2017, 卷号: 25, 页码: 2689-2696
作者:  王紫光;  高尚;  朱祥龙;  董志刚;  康仁科
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/03
金刚石砂轮磨削单晶硅片面形变化规律 期刊论文
金刚石与磨料磨具工程, 2017, 卷号: 37, 页码: 6-10
作者:  陈修艺;  刘海军;  朱祥龙;  康仁科;  董志刚
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