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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2017    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法 期刊论文 传感器与微系统, 2017 谷专元; 何春华; 何燕华; 赵前程; 张大成 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03 微机电系统(MEMS)加速度计  硅玻璃阳极键合  键合强度  剪切力  micro-electro-mechanical system (MEMS ) accelerometer  silicon-glass anodic bonding  bonding strength  shear stress