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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2017    学科主题：半导体材料     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Low temperature one-step growth of AlON thin films with homogenous nitrogen doping profile by plasma enhanced atomic layer deposition 期刊论文 ACS Applied Materials & Interfaces, 2017, 卷号: 9, 期号: 44, 页码: 38662-38669 作者:  Hong-Yan Chen;  Hong-Liang Lu;  Jin-Xin Chen;  Feng Zhang;  Xin-Ming Ji 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2018/06/15